Analyse par microsonde électronique
L’analyse par microsonde électronique est une méthode de microanalyse élémentaire dans laquelle un faisceau d’électrons focalisé excite une zone microscopique d’un échantillon solide. Les rayons X caractéristiques émis permettent d’identifier et, après étalonnage, de quantifier les éléments présents. L’ancien intitulé « analyse microphobe » résultait d’une erreur terminologique.
Principe et résultats
La microsonde mesure principalement les spectres de rayons X par dispersion de longueur d’onde ; certains instruments complètent l’analyse par dispersion d’énergie. L’intensité mesurée est comparée à des matériaux de référence, puis corrigée pour tenir compte de la diffusion des électrons, de l’absorption et de la fluorescence des rayons X dans l’échantillon.
La dispersion de longueur d’onde offre une résolution spectrale élevée et sépare mieux certains pics voisins, au prix d’une acquisition généralement plus lente. La dispersion d’énergie enregistre simultanément une plage plus large du spectre. Dans les deux cas, la composition calculée dépend des étalons, du courant de faisceau, de la tension d’accélération et des corrections de matrice.
La méthode produit des analyses ponctuelles, des profils ou des cartes de répartition élémentaire. Elle ne fournit pas directement l’identité complète des molécules ni tous les états chimiques des éléments.
Préparation et limites
L’analyse quantitative repose généralement sur un échantillon plan, stable sous vide et conducteur, ou revêtu d’une couche conductrice adaptée. La résolution spatiale dépend du volume d’interaction du faisceau, de la composition et des conditions d’accélération. Les limites de détection, les interférences spectrales, la rugosité et les dommages provoqués par le faisceau varient selon le matériau.
En sciences aquatiques, la méthode peut caractériser des structures minéralisées, des dépôts ou des particules, lorsque les éléments recherchés sont présents à une concentration mesurable. La préparation et le faisceau peuvent altérer les matériaux hydratés ou riches en composés volatils ; une image nette ne garantit donc pas une quantification exacte.