Analyse par microsonde électronique
L’analyse par microsonde électronique est une méthode de microanalyse élémentaire dans laquelle un faisceau d’électrons focalisé excite une zone microscopique d’un échantillon solide. Les rayons X caractéristiques émis permettent d’identifier et, après étalonnage, de quantifier les éléments présents. L’ancien intitulé « analyse microphobe » résultait d’une erreur terminologique.
Principe et résultats
La microsonde mesure principalement les spectres de rayons X par dispersion de longueur d’onde ; certains instruments complètent l’analyse par dispersion d’énergie. L’intensité mesurée est comparée à des matériaux de référence, puis corrigée pour tenir compte de la diffusion des électrons, de l’absorption et de la fluorescence des rayons X dans l’échantillon.
La méthode produit des analyses ponctuelles, des profils ou des cartes de répartition élémentaire. Elle ne fournit pas directement l’identité complète des molécules ni tous les états chimiques des éléments.
Préparation et limites
L’échantillon doit généralement être plan, stable sous vide et conducteur, ou recevoir un revêtement conducteur adapté. La résolution spatiale dépend du volume d’interaction du faisceau, de la composition et des conditions d’accélération. Les limites de détection, les interférences spectrales, la rugosité et les dommages provoqués par le faisceau doivent être évalués pour chaque matériau.
Références
- International Union of Pure and Applied Chemistry. « Electron probe microanalysis ». Gold Book. 10.1351/goldbook.E02007
- Llovet X et al. Electron probe microanalysis: A review of recent developments and applications. Progress in Materials Science. 2021;116:100818. 10.1016/j.pmatsci.2021.100818
